低金属化サービス（レジスト材料、有機エレクトロニクス材料）
近年、半導体の微細化・高集積化に伴い、半導体製造プロセスの複雑化が進んでいます。
半導体の品質不良を防止するために、これらのプロセスで利用される薬品は、超高純度であることが求められます。
高純度薬品の品質管理項目の中では、金属不純物含量が特に重要です。
ナード研究所は、独自の有機合成技術と精製技術に基づき、金属含量をppbレベルに低減した薬品の開発を行います。
特徴
- 1. 低金属化するための有機合成プロセスを開発します。
- 2. 化学的処理を施し、低金属化します。
- 3. 昇華精製による低金属化に対応します。
- 4. クリーン環境（クラス10000）での作業が可能です。
- 5. ICP-MSで品質管理します。
実績
ICPMSによる微量金属分析サービス
ICPMS 誘導結合プラズマ質量分析（半導体、環境関連分野）
特徴
- 1. 化学素材に含まれる微量金属をppbレベルで分析します。
- 2. 分析対象：Na,Mg,K,Ca,Cr,Fe,Ni,Cu,Zn,Agなど
- 3. 納期：分析サンプル入手から約1週間
分析依頼時にご準備いただく情報
| 分析目的 |
| 測定方法（微量元素・定量・定性など） |
| 試料情報 (ア) 数量 |
